井式真空炉(又名:坑式真空炉、立式真空炉)
适用工艺: 井式/立式双工位真空炉真空炉主要用于半导体器件烧结,封焊,太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺,也多用于机械密封的退火工艺。 特点: 采用水冷/气冷方式进行加热容器冷却,降温速度快;加热容器小,升温速度快。特别适用于小批量零部件快速加温、冷却后取出,因升温速度快,无需预热,设备不用即可关闭,节能省电。 井式真空炉主要技术参数 真空室工位数:1-3位 真空度:5x10-6Pa/4X10-2Pa 工作温度:0-1320℃ 充气的最高压强:0.5Mpa(可控) 不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300(用户自定) 仪表精度:±1℃/24h 控温方式:触摸屏自动控制/三点三段采用进口日本高可靠控温器 控温曲线:9段升降温/999小时 工作方式:自动或手动自由转换 正压、负压均采用数字显示表/电阻式压力传感器 多工位交替/同时工作,加压台可以自动升降(选) 人机界面:触摸屏/工控机
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