太阳能电池扩散炉|光伏硅片扩散炉

产品介绍：

太阳能电池扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉以及第三代软着陆扩散炉。
 
  技术指标：
  可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
  外型形式：卧式1—4管结构
  载片量：400片／管
  扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭
  工作温度：200℃—1300℃
  恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
  单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃／24h
  温度控制：5段控温
  总功率：120KwA
  送片装置：悬臂推拉舟，碳化硅桨最大载重17kg
  气路系统：1—5路工艺气体／管
  气体控制：进口MFC
  控制方式：工控机、触摸屏
  加工周期：60日
  Thinnerwafers：180Um
  Break rate：0.8％
  方阻均匀度范围：片内±3％，片间±3％，批间±5％