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太阳能电池专用扩散炉

太阳能电池扩散炉|光伏硅片扩散炉

产品介绍:

太阳能电池扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散工艺。目前有第二代闭管扩散炉以及第三代软着陆扩散炉。

 
  技术指标:
  可处理硅片尺寸:125mm×125mm、156mm×156mm
  外型形式:卧式1—4管结构
  载片量:400片/管
  扩散方式:闭管扩散、软着陆全封闭
  工作温度:200℃—1300℃
  恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±1℃
  单点温度稳定性、重复性: ≤±1℃/24h
  温度控制:5段控温
  总功率:120KwA
  送片装置:悬臂推拉舟,碳化硅桨最大载重17kg
  气路系统:1—5路工艺气体/管
  气体控制:进口MFC
  控制方式:工控机、触摸屏
  加工周期:60日
  Thinnerwafers:180Um
  Break rate:0.8%
  方阻均匀度范围:片内±3%,片间±3%,批间±5%


友情提示:以上产品均为非标类产品,均可根据客户要求进行定制,因每家要求各不相同,

因此产品只以一张图片举例,并未全部列出。本公司兼营进口设备仿制业务,欢迎来电垂询。


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