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扩散炉炉体

炉体|扩散炉炉体|高温炉体|低温炉体|仿进口炉体

产品介绍:

  MAS-H系列炉体主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可处理2-8英寸硅片的扩散工作。
产品特性:

◆尺寸:2-8寸  立式/卧式    
◆加热炉丝:瑞典康泰尔高温炉丝
◆保温材料:英国摩根进口保温层
◆绝缘材料:高精度99瓷拉条绝缘子
◆使用温度:350℃—1300℃
◆外  壳:不锈钢板/铝板
◆端  口:优质氧化铝氧化锆
◆控温段:3-9段控温
◆ 口  径:Φ80mm—Φ450mm
◆恒温区:100-1600mm
按客户的炉型要求,可内衬高纯刚玉管或SiC管

供货类型:
炉体按结构形式分为:卧式炉体、立式炉体
按工艺温度分为:高温炉体、低温炉体以及快速升降温炉体


友情提示:以上产品均为非标类产品,均可根据客户要求进行定制,因每家要求各不相同,

因此产品只以一张图片举例,并未全部列出。本公司兼营进口设备仿制业务,欢迎来电垂询。


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MASGEL
  • 销售电话:0532-66084224 销售传真:0532-67761046 电子邮箱:masgel@163.com
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  • 地址:青岛市李沧区瑞金路25-号
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