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LED合金炉

                

合金炉|LED合金炉
适用工艺:
LED合金炉主要满足LED芯片制造行业,对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

主要性能指标
  外型形式:卧式1—4管结构,水平炉管
  工作温度:200℃—1100℃
  恒温区长度:600mm
  硅片规格:适用于2—6英寸硅片以及碎片
  恒温区精度:≤±1℃(在400—1000℃范围内)
  单点温度稳定性、重复性:≤±1℃/24h(在400—1000℃范围内)
  温度过冲平衡:载料进炉,温度平衡到工艺时间,低于10分钟。
  工艺气体及控制:氮气、氧气。MFC或浮子流量计控制
  气路系统气密性:1×10—7PaM3/s
  送料机构:悬臂石英杆载料,手动
  报警系统:工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
  控制方式:工控机总程控制、触摸屏控制

设备特点:
  快速热恢复性
  设计有预热区
  具有可编程的升、降温功能
  采用滤波器、屏蔽板等装置,有效解决电网、磁场的干扰
  自动运行中可暂停/继续运行功能
  智能升降温斜率控制功能
  PlD参数自整定功能,可存储多组PlD参数供系统运行调用功能
  系统故障的检测与报警功能、系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
  具有停电后断点继续运行功能

友情提示:以上产品均为非标类产品,均可根据客户要求进行定制,因每家要求各不相同,

因此产品只以一张图片举例,并未全部列出。本公司兼营进口设备仿制业务,欢迎来电垂询。


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